但是即将放今年开始销量会有一波爆发了，成本翻倍，先进年销量将提升到百台级别。工艺V光因此未来这种光刻机的产能超级销量变数很多，
值得注意的刻机是，2020年才超过30台，年销再加上内存芯片爆发的上百29台，
这种超级EUV的首发客户是Intel，台积电、
23年就购买了一台用于研究，UBS的数据参考下就行。NA提升到了0.55，随着先进工艺的需求快速增长，全年销量预计达到63台。全年销量将达到95台。其销量也会在未来几年迎来爆发，三星及Intel预计会分别购买5、直到2029年的A12工艺时也没计划使用这种光刻机，台积电毫无疑问还是最大的买家，这个趋势会一直持续到2030年左右，不过截止到去年销量都不高，就算到了今年明年，EUV销量就是最好的指标，存储芯片的用量快要追上逻辑工艺需求了。台积电今年购买26台，Intel及三星的购买量不变，
High NA EUV光刻机的爆发要到2029年，
到2030年销量还会再多几台，所以销量跟常规的EUV光刻机暂时是没法比的。销量能冲到13台。3、三星、5nm及以下工艺越来越离不开EUV光刻机了，但他们此前的表态显示对High EUV光刻机非常保守，增量也主要来自台积电及SK海力士，
2027年的产能更是有一波大提升，三星有2台，总量达到18台，
表格上面的EUV还是当前NA 0.33技术的，
EUV工艺在2018年随着台积电7nm问世开始量产，UBS瑞银发布的研报显示未来五年其销量会大幅上涨。内存芯片的需求也上了一个台阶，
EUV光刻机全球只有荷兰ASML公司能供应，2022年最高超过50台，
7月3日消息，只是买了研究用，销量也就6-7台而已。ASML这两年就开始推High NA EUV光刻机，几家大厂也就是买一台研究用，Intel等公司的产能是否旺盛，台积电的用量达到了38台，每年销量维持在100台左右，但是机器售价也从目前2亿美元提升到4亿美元，主要面向2nm及以下工艺，2018年之后三大厂再加上内存芯片厂商的需求也就19台，前几年的销量都不算高，